南京中电熊猫平板显示科技有限公司Array倒班品质工程师
1. A检良率监控,各类缺陷Top不良分析
2. Array量产品出货把控,相关risk基板管控与SL良率追踪
3. A检缺陷特征限度样本收集
4. Array量产品良率监控工具的参与建立与施行
5. 基板划伤及其他Macro异常的调查与追踪处理(协助)
主要工作业绩:
1. 55” 固定位置点伤相关设备引出
1)、前期收集产线Macro反馈,调查Run货履历及共通机台锁定可疑设备
2)、反馈相关工程,要求Run前后加检Macro确认
3)、联络工程责任人共同确认
从收集共通异常基板开始,通过对可疑机台同批同检,锁定了异常贡献设备,极力缩小了点伤破片的风险范围。
2. 55” A检固定位置ESD Issue调查
1)、A检同一类型基板收集(Run货履历、特征值收集、Issue类别等信息确认)
2)、阵列修补时缺陷Review确认,锁定可疑设备。优先停机,然后做验证测试。
锁定两个可疑设备,Bake和研磨机台,根据以往经验,优先确认Oven制程,最后做转向实验验证确认了该机台的异常。
3. 55” 基板四角PAS孔发黑厘清
1)、产品量产初期A检四角黑点爆发,阵列修补Review确认是Pas穴发黑异常
初期怀疑是Passivation刻蚀不尽,联系Dry制程解析原因,Dry实验确认基板各点位刻蚀均一性一致,无异常。怀疑点转向CVD成膜均一性差。
2)、CVD成膜MQC验证
验证后在线膜厚测量及切片SEM确认四角成膜品质确有差异,导入分段成膜,并结合Margin验证确认各段最佳成膜时间、温度、压力等参数后,解决异常。一次良率提升,产品规格达到客户需求。
4. 15.6” 左侧SG分析改善
1)、A检检出部分批次第一列Panel SG聚集明显,阵列修补判False,无法明确缺陷
2)、缺陷定位寻址
A检坐标输入查找无法定位缺陷,对比其他类型缺陷定位精准度判定非TEST机台偏移;尝试从坐标起点沿Data line捕捉缺陷,发现Panel最下端Gate line上ES孔内小黑点异常。
3)设备锁定及SG异常解析
批次by共通机台调查无法锁定,机差分析Photo 7#线体机差明显并保持较高水准波动,反馈Photo制程确认;同时针对异常切片解析,发现ES孔位置SD通过孔洞与Gate s