主要负责：
1.处理机台Down机:
1）.Stage BACK Side Pressure Alarm;
2）.He-1 Estimate Flow alarm;
3）.RIE reflect alarm;
4）.VDC/ESC alarm;
5）.APC Stadus Alarm;
6）.PC/TC/LC Pressure alarm;
7）.TMP1/2/3/4 Failure alam;
8）.DRY Pump alarm;
9）.Load stop alarm;
10）.Locle scrubber alarm等;
2.产品异常做分析及对策:
1).AS残，N+残，BP Lack等异常;对产品集中性做分析，确认chambet集中性，或Load—Port集中性;后续对集中chamber进行clean,或对Load进clean,更换CDA Filter等;
2).产品出现arcing异常;确认基板arcing位置，对应点位开chamber查看 He孔是否有扩孔或烧焦现象;如有异常需对He孔进行打磨修补;
3).Etch Rate 异常;对EQ run货条件进行确认（如:低压漏率、温度、MFC、Dummy Load等）;
4).E/R U%异常;通过map图确认异常点位，针对异常点位做确认（如电容、连轴器、驱动马达、电感线圈、Gas nozzle或上电极等）;
3.Parts更换及controller参数设定;
1).TMP Pump、DRY Pump更换;
2).APC Motor、APC o-ring及APC整租更换;
3).真空 Robot更换及点位Teaching;
4).Matching Box更换及controller参数设定;
5).RF generator更换及参数设定;
6).真空/大气gauge更换及设定;
4.改善工作;
1)对chamber做RF PM保养、半年保，年保养等;
2).LS机台保养，例行更换Parts;
3).每日机台点检等工

主要负责：1.确认当日出勤状况，调节产能状态，以满足生产计划的需要。
2.不定时的巡查每一工序的制作状态。确认制品品质，检查工序
内不良品及时找出不良原因并提出改善对策。
3.检查机器设备，工具的点检和保养。检查工作环境的“5S”执行
情况，注意安全生产状况。
4.一日工作完毕，做好当日的生产报表，记录好工作人数，工作时
间, 生产数量,不良数量，材料损耗,设备稼动损耗，人员工时损耗.
生产效率。